EOD en Si mesuré pendant une translation latérale à 40 µm/s. sujet

Bonjour , je viens demander quelques renseignements pour essayer de savoir ce qu'est un EOD .

Comme le titre du sujet l'indique, un EOD peut être mesuré .

En suivant ce lien vous trouverez une animation en rapport avec la question .

http://www.google.fr/imgres?start=14...CMgBEK0DMEE4ZA

Que signifie EOD dans ce contexte ?
Quel intéret de mesurer dans un MEMS ?
Quelqu'un aurait-il une réponse de connaisseur ?




(Apparemment l'age est plus qu'un handicap,ce serais même un abime de désolation...c'est de Jeanne calmant)
Citation personnel pour clore mes messages.